EL-FLOW® Metal Sealed Mass Flow Meters / Controllers
Przepływomierze masowe i regulatory z uszczelnieniem metalowym firmy Bronkhorst charakteryzują się unikalną, opatentowaną na całym świecie konstrukcją uszczelnienia metal-metal z doskonałą możliwością ponownego uszczelnienia. Ponadto wyróżniają się wysoką jakością powierzchni i dlatego są odpowiednie do spełnienia wymagań przemysłu półprzewodnikowego i solarnego, a także innych zastosowań gazu o wysokiej czystości. Podstawowe bloki przepływomierzy masowych i regulatorów mają przyłącza 1/4" z uszczelnieniem czołowym (VCR).
Najniższy zakres 0,12...6 mln/min
Najwyższy zakres 1... 50 ln/min